静電チャック4分配 |
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吸着、剥離はもとより、極性切換機能を有しており、接着性の強化、スムーズな剥離、ラミネート処理等に最適です。
同時に4つのワークを処理するために開発された4分配静電チャック用高圧電源ユニットです。設定電圧に基づき高電圧を印加し吸着、ディスチャージ
剥離致します。リアパネルEXTスイッチONにて外部CPUからの制御で操作いたします。EXTスイッチOFF時はメンテナンス時の各スイッチによる機能確認用です。 |
初めての試みでうまく吸着できるか判らない、剥離で困っている等お悩みの方へ1ch双極静電チャックユニットを1週間無償レンタルさせていただきます。
台数に限りがございますので、すぐにお貸出しできる場合と少しお待ちいただく場合がございます。詳細はinfo@element-hv.comへご連絡願います。 |
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フロントパネル |
リアパネル |
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仕様例 4分配出力静電チャク用高圧電源ユニット ELS−5K1PNJK2S4型 真空装置製造会社様納入 標準価格¥880,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAと0〜−5kV 1mAの正負2出力を有した1CH双極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージ及び極性切換動作により剥離致します。高圧出力部は正負2分配4出力です。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA 負極出力 0〜−5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 5.00kV/1.000mA −5.00kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時吸着高電圧出力
7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
8、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ 1個 ON時極性反転高電圧出力
9、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用
10、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
11、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 4個
12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
14、 外部インターフェース 10P端子台PIN配置
1P HVON
2P 0V
3P DIS
4P 0V
5P POLA
6P 0V
7P〜10P NC
*EXTONスイッチON時有効 各奇数、偶数PIN短絡時有効
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