双極静電チャック用高圧電源ユニット |
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吸着、剥離はもとより、極性切換機能を有しており、接着性の強化、
スムーズな剥離、ラミネート処理等に最適です。

最近多いご相談は、剥離です。
吸着時間を短くしたり、間欠にしたり、吸着電圧をなるべく低く設定したり等工夫が必要です。 |
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フロントパネル |
リアパネル |
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仕様例 ELS−5K1PNJK2S2型 2012年12月 2015年8月 真空装置製造会社様納入 定価¥7500,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAと0〜−5kV 1mAの正負2出力を有した1CH双極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージ及び極性切換動作により剥離致します。高圧出力部は正負2分配4出力です。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA 負極出力 0〜−5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 5.00kV/1.000mA −5.00kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時吸着高電圧出力
7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
8、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ 1個 ON時極性反転高電圧出力
9、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用
10、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
11、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 4個
12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
14、 外部インターフェース 10P端子台PIN配置
1P HVON
2P 0V
3P DIS
4P 0V
5P POLA
6P 0V
7P〜10P NC
*EXTONスイッチON時有効 各奇数、偶数PIN短絡時有効
取扱説明書PDFはこちら
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エレメント有限会社
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静電チャックを用いた製造装置の場合、1台の静電チャック電源ユニットにて複数の静電チャックを同時に吸着する場合が大半です。
吸着時には瞬間的に突入電流が流れますが、吸着が終了すればコンデンサと同じですので殆ど電流を消費いたしません。
面精度も上がり、絶縁材料も進歩し吸着は瞬時に行えますが、剥離に時間を要してしまうケースが多く見受けられます。
一般的な剥離は一旦ディスチャージし、極性反転出力を瞬時印加することにより、剥離します。
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