仕様例 EKC−5K40P/100E型 2024年3年 真空関連会社様納入
<特色> ジョンソン・ラーベリク式静電チャック専用の高圧電源ユニットです。
外部電圧、電流制御機能、モニター機能、インタロック機能、ステータス機能を標準装備しております。
EMG信号b接点がOFFになりますとHVONスイッチの昭光部が消灯致します。
再復帰にはEMG信号をONに解除し、HVONスイッチのONが必要になります。
<仕様> 1、入力電圧 AC100V±10% 7A 3P2m入力ケーブル 1本付属
2、出力電圧 0〜+5kV 40mA
3、変動率
入力変動率 ±0.01%以下
出力変動率 ±0.01%以下 リップル 0.1%程度
4、使用温度範囲 0℃〜50℃
5、湿度範囲 20%〜80%(結露なきこと)
6、HVONスイッチ 赤色昭光式押しボタンスイッチモーメンタリー 1個
7、HVOFFスイッチ 白色押しボタンスイッチモーメンタリー 1個
8、出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台
モニター精度 5%<FS ±1dgt
出力電圧表示 5.00kV 出力電流表示 40.0mA
9、出力可変 電圧(CV)(CC) フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 2個
CV 0〜100%可変 CC 1%〜100%可変
10、EXTON スイッチ フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ 1個
OFF時フロントパネル CV、CC操作 EXTON時リアパネル端子台の信号によるCV、CC操作
11、リアパネル16P端子台
1P REF(+10VDC)
2P 0V
3P EXT CV(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ
4P EXT CC(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ
5P VM(0〜5VDC)0〜+5kV 出力インピーダンス1kΩ
6P CM(0〜4VDC)0〜40mA 〃
7P 0V
8P HV ON *EMG信号b接点を接続願います。
9P HV ON 9P、10P短絡時高圧出力ON
10P EMG COM *EMG信号に同期した信号を出力します。
11P EMG NO
12P EMG NC
13P〜16P NC
12、高圧出力部 高圧コネクターレセプタクル A400QX 1個
〃 プラグ A600QX1m先端未処理 1本
アース線 0.75□3m両端M6圧着端子 1本
13、保護回路 ショート及び過負荷電流に対してCC設定電流値の約105%にて自動垂下自動復帰方式
14、外形寸法 W480×H149×D430mm程度
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