単極静電チャック電源ユニット |
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静電チャック特性試験用に負荷や接続の異常時に過電流が発生した場合に瞬時に高電圧出力を遮断するOL機能を搭載しております。
剥離時間短縮用にディスチャージスイッチも設けております。
小型ハンデイーボックスタイプですので持ち運びにたいへん便利です。
静電チャック自体の初期吸着試験に最適です。
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フロントパネル正極 |
リアパネル |
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仕様例 ELS−5K1PCK1型 2011年4月 静電チャック関係開発会社様納入 定価¥500,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAの1CH単極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージにより剥離致します。高圧出力部はSHVコネクターです。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 5.00kV 1.000mA モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 1個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時吸着高電圧出力
7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時内部10kΩ抵抗によるディスチャージ
8、 高圧出力部 SHV−R 1個
9、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対してOL設定電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
10、 外形寸法 W230×H145×D310mm程度
14、 外部インターフェース 16P端子台PIN配置
1P〜4P NC
5P VM(0〜+5kV時0〜+5VDC)
6P CM(0〜1mA時0〜+10VDC)
7P 0V モニターコモン
8P HVOK1
9P HVOK2 *8P9P短絡時高電圧出力OK インターロック端子 出荷時ショートバー実装
10P STATUS COM
11P STATUS NO
12P STATUS NC *10P11P12P ステータス信号 高圧出力時無電圧接点信号送出
12P〜16P NC
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