エージング用双極静電チャック高圧電源ユニット |
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この高圧電源ユニットは、双極エージング用の1チャンネル静電チャックユニットです。
長時間にわたり、チャッキングが問題ないかをチェックするのに最適です。
極性反転機能がございませんのでゆっくり剥離します。
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フロントパネル |
リアパネル |
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仕様例 ELS−5K1PNCK/100V2型 2009年5月 2018年1月 2021年7月 静電チャック関連会社様納入 定価¥750,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAと0〜−5kV 1mAの正負2出力を有した1CH双極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージにより剥離致します。高圧出力部は正負1系統SHVコネクター出力です。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA 負極出力 0〜−5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 5.00kV/1.000mA −5.00kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時吸着高電圧出力
7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
8、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ 1個 ON時極性反転高電圧出力
9、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ 1個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用
10、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
11、 高圧出力部 SHV−R 2個
12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
14、 外部インターフェース 16P端子台PIN配置
1P +VM
2P 0V
3P +CM
4P −VM
5P 0V
6P −CM
7P HVON
8P 0V
9P DIS
10P 0V
11P〜16P NC
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