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| 静電チャック用高圧電源ユニット |
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静電チャックにはよる制御にはクーロン力を持ちいた単極、双極仕様、１ＣＨ、タイマ制御及び静電チャック自体の製品試験まで
広い分野でお手伝いさせていただいております。
最近では静電チャック以外でもタイマ制御の需要が増えております。
初めての方はレンタルで単純に吸着できるか確認されることをお勧めします。
弊社の静電チャック高圧電源ユニットは極性の切換、ディスチャーシ゛には高電圧リレーを採用しております。
１ＣＨ双極のブロック図です。
ジョンソン・ラーベリック力を用いた製品もございます。
お気軽にご相談ください。info@element-hv.com 個人情報保護方針 |
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| レンタル電源 |
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１ＣＨ双極 |
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ｼﾞｮﾝｿﾝ・ﾗｰﾍﾞｯｸ |
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| 単極試験 |
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双極タイマー
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双極エージング |
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電気のクーロン力を用いてシリコンウエハやパネルを吸着する装置が一般的な静電チャック装置です。
かつては、絶縁材料や面精度の問題もあり、貼り合わせ装置等で真空引き開始時に亜真空状態になり、大きなリーク電流を消費する場合もございました。近年は面精度の向上や絶縁材料の進歩により、リーク電流は無くなりました。
半導体製造装置における吸着の場合は単極で十分な場合も多いようです。
液晶ディスプレイやＦＰＤ用ガラスパネルは、面積も大きく、双極で使用される場合が多いです。
弊社の製品は、双極性の場合、基本的に極性切換機能を搭載しております。
極性切換によりスムーズな剥離はもとより接着性の向上にも寄与しております。
ラミネート加工にも用いられるケースもございます。
ジョンソンラーベック方式の製本もございます。
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